Лампа ДРШ-500М короткодуговая, разрядная, сверхвысокого давления, ультрафиолетовая, непрерывного действия, предназначена для ипользования в качестве точечного источника коротковолнового УФ-излучения в фотолитографическом оборудовании микроэлектроники, в флуоресцентной микроскопии, в микрофотолитографии.
Используется в проекционных установках предназначенных для совмещения и помодульного экспонирования полупроводниковых пластин при производстве БИС, СБИС и других изделий электронной техники.
| Мощность (номинальная) | 500 Вт. |
| Мощность излучения излучения в диапазоне длин волн 350-450nm (Вт.) | 61 |
| Интенсивность излучения в диапазоне длин волн 350-450nm (mВт\стрд) | 6100 |
| Напряжение на лампе | 60 В. |
| Ток лампы | 8,3 А. |
| Рабочее положение вертикальное катодом вверх допустимое отклонение от вертикали ±15° | |
