Лампа ДРШ-250-3М дуговая, разрядная, сверхвысокого давления,ультрафиолетовая, непрерывного действия, применяется в микрофотолитографии для установок проекционной пошаговой мультипликации.
Используется в проекционных установках предназначенных для совмещения и помодульного экспонирования полупроводниковых пластин при производстве полупроводниковых приборов, ИС, БИС, и других изделий электронной техники.
| Мощность (номинальная) | 250 Вт. |
| Интенсивность излучения в диапазоне длин волн 360-370nm (µВт\см2) | 98 |
| Интенсивность излучения в диапазоне длин волн 400-410nm (µВт\см2) | 42 |
| Интенсивность излучения в диапазоне длин волн 430-440nm (µВт\см2) | 66 |
| Напряжение на лампе | 38 В. |
| Ток лампы | 5-8 А. |
| Рабочее положение вертикальное катодом вверх допустимое отклонение от вертикали ±15° | |
