Лампа ДРКс-1005 дуговая, разрядная, сверхвысокого давления, ультрафиолетовая, непрерывного действия, применяется в микрофотолитографии для установок проекционной пошаговой мультипликации.
Используется в проекционных установках предназначенных для совмещения и помодульного экспонирования полупроводниковых пластин при производстве БИС, СБИС и других изделий электронной техники.
Так же используется при производстве печатных плат высокой плотности соединений(HDI).
Мощность (номинальная) | 1000 Вт. |
Интенсивность излучения в диапазоне длин волн 360-370nm (µВт\см2) | 330 |
Интенсивность излучения в диапазоне длин волн 400-410nm (µВт\см2) | 175 |
Интенсивность излучения в диапазоне длин волн 430-440nm (µВт\см2) | 260 |
Напряжение на лампе | 36 В. |
Ток лампы | 28 А. |
Рабочее положение вертикальное катодом вверх допустимое отклонение от вертикали ±15° |